線性馬達系統Linear Motor System 技術手冊高速化 高精度 複合化 環保 生活化 2005年台灣精品金質獎 2004年台灣精品獎 滾珠螺桿 Ballscrew 定位線性滑軌 • 重負荷滾珠螺桿- Positioning Guideway 全電式射出成型機 2004年台灣精品金質獎 2002年台灣精品獎 線性伺服馬達 2001年中小企業創新研究獎 Linear Synchronous Motor 線性致動器 • 無鐵心式 (LMC) Linear Actuator • 醫療/ 自動化/工業用 2003, 2010年台灣精品金質獎 2009年台灣精品銀質獎 工業機器人 空氣軸承線性馬達定位 Single Axis Robot 平台 • KK 半導體、電子化系列 Linear Motor • KS, KA 自動化系列 Air Bearing Platform 2008年台灣精品金質獎 2007, 2002年台灣精品銀質獎 位置量測系統 線性滑軌 Linear Guideway Positioning HG/EG/RG/MG 系列 Measurement System 精密機械/電子半導體/生技醫療 • E2 環保潤滑模組 • Q1 靜音式 • A1 氣淨式 2009, 2008年台灣精品金質獎 2006, 2001,1993年台灣精品銀質獎 線性馬達驅動的X-Y平台 滾珠螺桿 Ballscrew Linear Motor X-Y Robot 精密研磨/精密轉造 • 高速化 (高 Dm-N 值 /Super S 系列) • 重負荷 • E2 環保潤滑模組 • R1 螺帽旋轉式 2006年台灣精品銀質獎 2007年中小企業創新研究獎 線性馬達龍門系統 TMS直驅式定位平台 Linear Motor Gantry TMS Direct-Driver Positioning System 訂製定位系統 1～6頁 線性馬達定位平台 7～34頁 平面馬達 35～40頁 線性馬達元件 4 1～60頁 轉矩馬達旋轉平台 61～70頁 控制與驅動 71～83頁 客戶需求規格調查表 84頁 M99TC04-1005 1 定位系統 訂製定位系統 本型錄中各式的標準定位平台可以符合許多客戶的定位需 以下列舉了許多不同的應用案例 ，不單是機構部分的特殊訂製可 求，但是當這些都無法達到客戶的特殊需求時，我們擁有 以提供 ，在某些情形下 ，我們也能够给大家提供伺服控制的整體解決提 完整的研發團隊可以和客戶共同合作完成訂製的解決方 案以達到整體生產過程的最佳化 。 案。本資料的最後附有表格，能够给大家提供我們的工程師，先實 施初步的設計。 1.1 實績案例 合理價格的取放及檢測用龍門定位系統 X Y 龍門架構使得許多應用得以更低的成本來實現，以標準元件 構築而成的龍門定位平台。  採用LMX 1L系列的定位軸  重現性±2µm  可提供含底座 微細加工到大工件的加工 適用於以雷射或刀具實施之微細結構的加工 充分的利用了小型龍 ， 門結構的特性 同樣提供了合理價格的解決方案 ， 。  採用運動特性平順的LMC系列線性馬達  重現性±2µm  經過大量實際應用的考驗 平面馬達 平面伺服馬達提供了一個最佳的檢測定位解決方案 比方說 印 ， ， 刷電路板PC B的檢測 在馬達可動部上裝置CC D鏡頭拍攝板子上 ， 的印刷電路是否完整及SMD元件 。  由於使用非接觸式空氣軸承 ，幾乎沒有摩耗  在整個平面上可以達到很好的平面度(最大1000mm平方)  重現性±3µm 2 M99TC04-1005 定位系統 訂製定位系統 高等級的晶圓品質管制 、光罩製作 晶圓表面的管制以及晶圓或玻璃面板的光罩常常要採用空 氣軸承式的XY平台 ，以檢測出極微小的缺陷或製作出高精度 的光罩 。例如電子業 ，晶片工業以及平面顯示器業裡面都採 用這種方式。  平面度±2µm  重現性±0.5µm  精度±1.5µm 微米技術及晶圓處理 在微米工程等級的應用以及晶圓設備中尤其重視絕對精度及 潔淨室適用性。採用線性馬達高精度XY平台為最佳選擇。  行程200 mm x 200 mm ，亦可選購300 mm x 300 mm  全行程平面度±4µm  各軸重現性±1µm  各軸精度±4µm  潔淨室等級100適用 ，亦可選購等級10 雷射掃描 極平滑的運動以及較長使用壽命為選用類似雷射掃描機這 樣的光學檢測系統的主要的因素 。採用空氣軸承方式的線性 馬達就可以符合這種需求 。  使用空氣軸承因此沒有摩擦  完全沒有頓力 ，因為採用LMC系列線性馬達  行程可長達1500mm 臥式高速合成材質熱溶接機 採用LMX 1L系列線性馬達平台搭配絕對式位置編碼光學尺 。  開電時無須找尋電機角  由於高加速度 ，因此在分離合成材質加熱板時不會有牽 絲的情形  以時間力量位置控制熱溶程度  高速換料 M99TC04-1005 3 水刀應用 LMS雙動子線性馬達提供2.5m的長行程帶動兩組HIW IN KK模組做上 下Z軸運動。下面兩軸也是採用LMS高推力線性馬達做同步運動。  提供整體方案 ，隨插即用  大行程  含底座 ，護蓋及高階運動控制器 AOI光學檢測整體解決方案 下軸採用LMC系列線性馬達使得A OI光學檢測可以達到相當高的平滑 運動及優良的取像 ；上軸利用LMS馬達帶動Z軸的螺桿及CC D鏡頭達 到高速運動。  重現性±1µm  速度漣波小於1.5%  提供機台底座及護蓋之整體解決方案 客製玻璃加工機台 線性馬達機台被設計用來承載工作水頭在平台上方移動, 客戶的工作 水頭用來切割雙層玻璃  同動架構線性馬達定位機台()  1300mm ×1450mm行程  平滑運動  正弦波整流, 無頓力  LMC系列馬達  各軸重現性±2 μm  剛性機構底座 提供客戶運動規劃服務 另一AOI光學檢測應用, 客戶需求要高性能價格比  534mm ×534mm^2行程  LMS27及LMS 13龍門  特殊龍門同動控制  鋼材框架  集成線路板輸送, PLC, IPC於客戶端  次微米級重現性  承諾40mm移動可於200ms內收歛至±1.5 μm 4 M99TC04-1005 定位系統 訂製定位系統 1.2 技術用語 反電動式常數 真直度(或水平直線度) (參考1.3 Ku) 沿著X方向前進時的水平直線運動特性 ，當這個規格不好的時 為反電動勢電壓(rms)對轉速(rpm)或速度(m/s)的比率 。反電動 候沿著X方向運動時 ，會產生Y方向的偏差 。 勢為發生於線圈在永久磁鐵上移動時所產生的電壓 。例如伺服馬 達中。 偏心 是指轉矩馬達在旋轉時旋轉中心偏移的量 ，主要是由組裝對心 加速度 和軸承的公差所決定。 每單位時間的速度變化量 ，即加速度= 速度/ 時間 或a = v / t 推力 ，扭矩 直線運動之推力 ，或旋轉運動之扭矩分別以不同的環境狀況而 加速時間 有不同的定義值 。通常有 ： 為由靜止加速到最大速度所需的時間。  室溫20℃  線圈溫度80℃ 平面度(或垂直直線度)  100%負載率(duty cycle) 沿著X方向前進時的垂直直線運動特性 ，當這個規格不好的時候 之連續推力 ，連續扭矩 ，或瞬間推力 ，瞬間扭矩等定義。 沿著X方向運動時 ，會產生Z方向的偏差 。 推力常數Kf (參考1.3 K ) 扭矩 f 為使物體旋轉的作用力 ，通常以下面這個外積的公式算出的向量 為馬達線圈的特性之一 ，定義為單位電流的推力 ，把此參數乘 來表示 以電流即可得到推力 ：F = I x Kf 其物理單位為Nm = kgm2/s2 連續推力 ，連續扭矩 (參考1.3 Fc) 重現性 當對馬達線圈施以100%負載率(duty cycle)之連續電流時 ，馬達 可以產生之推力或扭矩稱之 。 請勿與絕對精度混淆 ，一個線性定位軸通常會有較差的絕對精 度 ，與較好的重現精度 。由一定以上的距離實施多次由同一個方 向往目標位置移動所量測的結果稱之為單方向的重現性 ，在這樣 連續電流 的情形下 ，諸如背隙的影響並不存在 ；如果量測時往目標逼近的 (參考1.3 Ic) 方向是不同的 ，則所得的結果為雙方向的重現性 ，此時會量得含 這個電流是可以持續供應給馬達線圈的電流 。通常以這個電流 背隙的結果 。 流過線圈時 ，溫度最高不會超過80℃。 馬達常數Km 解析度 (參考1.3 Km) 為所採用的位置回饋系統本身所能量測的最小距離 ，請勿與運 為推力對消耗功率的比值 ，代表馬達的效率 。 動解析度混淆 ，通常運動解析度會粗於解析度 。 剛性 偏擺 為機構(含零件或組件)抵抗變形的能力 ，通常分為靜態剛性與動 為迴轉馬達在轉動的同時上平面的角度偏差 。隨著旋轉 ，馬達 態剛性 。靜態剛性為外力已經完全靜止不變動時機構的抗變形 的上平面會斜來斜去 ，所造成的角度 。主要的原因為軸承的公 特性 ；動態剛性為機構對變動外力的抗變形彈力特性。 差所引起 。 M99TC04-1005 5 運動解析度 為定位系統可以重複運動的最小距離 ，影響的因素有位置回饋 系統解析度 ，控制器驅動器的解析度加上機構背隙等等 。 精度 定義為目標位置與實際位置之間的誤差 。這樣子的系統化或線 性的偏差可能的來源有 ：餘弦誤差 ，角度誤差 ，螺桿誤差 ，熱 膨脹等等因素。精度請勿與重現精度混淆 。 磁性吸引力Fa 鐵心式馬達的動子與定子之間的作用力 ，此力形成對滑塊的預 壓 ，由滑軌承受 。 線圈電阻R25 為馬達線圈的特性 ，在25℃下的電阻 ；如果在80℃時其 阻值會變為大約1.2倍 。 線圈溫度Tmax (參考1.3 T) 為線圈允許的最大溫度 ，馬達的實際溫度依存於機構 ，冷卻手 段以及運動規劃等等因素 ，理論計算可能會有偏差 ，通常以實 際測試為依據 。 導軌偏差 為使用的滑軌的線性偏差 ，依存於真直度和平面度 。 瞬間電流Ip (參考1.3 I ) p 主要是用來提供短時間產生大推力的電流 ，HIW IN馬達的定義 基本原則為 ：LMS系列之Ip為連續電流的兩倍 ；LMC系列之Ip 為連續電流的三倍 。打瞬間電流的允許時間為一秒 ，然後充分 散熱一段時間回復到線圈正常工作溫度以下 ，才可以再打瞬間 電流 。 瞬間扭矩 ，瞬間推力Fp 瞬間扭矩(迴轉運動) ，瞬間推力(直線運動)為馬達在不超過一秒 的時間可以產生的最大推力 ，通常這樣的推力已經接近馬達飽 和的非線性操作區 ，一般用於加速或減速的目的。 6 M99TC04-1005 定位系統 訂製定位系統 1.3 重要物理量 1.3.1 與線圈無關的量 1.3.2 與線圈有關的量 Fa 動子與定子間的磁吸力 ，必須由導軌吸收 。 Ic 產生連續推力的電流 Fc 馬達連續推力 ，在正常持續驅動下會使線圈溫昇至 Ip 產生短暫大推力的瞬間峰值電流 70-80℃。 Kf 計算推力的線圈特性值 ，公式為 ：F = I x Kf F 短暫的瞬間推力 ，當以I 電流打入線圈時產生 ，此時馬達 p p 操作在接近非線性區 ，若無強制冷卻 ，溫昇會急劇增加 。 Kv 當馬達在發電時隨著運動速度而產生反電動勢的線圈特性 值 ，公式為 ：Ug = Kv x v Km 馬達常數 ，為馬達產生的力量對產生的熱量的比率 ，所以 也是判斷馬達效率的指標之一 。 R25 25℃時的線圈電阻 ；當溫昇到80℃電阻會升高到大約1.2倍 。 Pv 馬達產生的熱(功率) ，會導致隨著時間不同而異的溫 昇 ，影響的因素有馬達電流以及環境溫度 。在非線性操 作區供應I 時 ，P 會因為與電流平方成正比的關係而急 p v 遽升高 ，而在線性操作區供應Ic則比較不會發生高熱 。 Pv可通过馬達常數Km和推力計算如下: Pv = F / Km2 Pvp 在Ip 時的峰值功率 Pc 在Ic 時的連續功率 T 馬達線圈允許的操作溫度 ，通常藉由溫度開關監控 ，馬達 的表面溫度與下列因素有關 ：  實際安裝狀況(定位平台的大小)  散熱條件(冷卻板)  驅動狀況 因此實際溫度只能用上述條件來決定。 M99TC04-1005 7 2 線性馬達平台 2.1 產品一覽 第 8 頁 2.2 線性馬達平台特性 第10 頁 2.3 涵蓋產品 第11 頁 2.4 平台組成 第12 頁 2.5 型號編碼說明 第13 頁 2.6 LMX 1E-C線性馬達平台 第14 頁 2.7 LMX 1L-S線性馬達平台 第19 頁 2.8 LMX 1L-SC線性馬達平台 第27 頁 2.9 X-Y平台 第29 頁 2.10 龍門系統 第33 頁 8 M99TC04-1005 定位系統 線性馬達平台 2.1 產品一覽 LMX 1E-C 第14 頁  採用無鐵心式LMC系列線性馬達  特別適用於多軸同步運動的應用  可以組裝成X-Y平台  使用增量式光學尺  總長度可達4,000 mm LMX 1L-S 第19 頁  採用鐵心式LMS系列線性馬達  特別適用於高連續推力的應用  可以組裝成X-Y平台  使用增量式光學尺或磁性尺  總長度可達4,000 mm LMX 1L-SC 第27 頁  採用夾心式LMSC系列線性馬達  夾心式設計使吸力相抵銷且提供更大推力  使用增量式光學尺或磁性尺  總長度可達4,000 mm M99TC04-1005 9 X-Y平台 第29 頁  由LMX系列平台組合而成  使用無鐵心式或鐵心式馬達 龍門系統 第33 頁  使用無鐵心式或鐵心式馬達的 標準化龍門架構 10 M99TC04-1005 定位系統 線性馬達平台 2.2 線性馬達平台特性 HIW IN線性馬達平台使用線性馬達直接驅動 ，並且設計成容易替 換 。可選配標準鏈條與訂製的線槽 。線性馬達平台每軸搭載位置 回饋系統 、線性滑軌 、極限開關與可選配的上蓋板以防護來自環 境的影響 。也可選配額外的煞車系統 。 因為直接驅動 ，因此平台幾乎無背隙 ，並具有高動態特性 ，維護 簡單 ，还能够裝備複數個動子。 線性馬達平台包含驅動器 ，提供平整的解決方案 。客戶可以 指定驅動器的製造廠商 。針對不同驅動器 ，我們提供適當的馬達 參數。  無摩擦損耗  單軸上可以有 複數動子  小型化設計 ， 所需空間小  可搭配其他線性平台  不需校正  高移動速度  維護簡單  運動平順  精確性高且定位快速  耐久使用  可靠度高 M99TC04-1005 11 2.3 涵蓋產品 正(+)移動方向 運動方向是依照原點開關來定義。 標準是遠離原點開關的方向。 驅動器 (參見第74頁) 依照客戶的應用選擇驅動器 ， 以及提供線性馬達的參數。以確 鏈條 保線性馬達平台動態的特性。  依客戶指定來設計 ，並符合現 場的條件 。  不一样的尺寸以提供額外的接線 。 (1)  可有不同的固定孔 。 連接界面  CA Nopen  RS232串列埠  類比10V命令  脈波命令  其他需求 主要接線  馬達電源線  位置回饋線(光學尺線)  極限開關線 動子接頭出來的線長可有3m, 5m, 7m ；線材 通過CE與UL認證。 標準線性馬達平台 不同型號請見14-34頁 2.3.1 鏈條安裝方向 水平安裝例 垂直安裝例 12 M99TC04-1005 定位系統 線性馬達平台 2.4 平台組成 動子座 位置回饋系統接頭 動子 馬達電源線接頭 滑塊 滑軌 防撞器 防撞器 位置回饋系統 極限開關2 定子 底座 極限開關1 極限開關接頭 線性馬達平台一般規格 名稱 馬達型號 v max a max 總長度 重現精度 絕對精度 直線度 平面度 頁數 L max 2 [mm] [mm/300 mm] [mm/300 mm] [m/s] [m/s ] [mm] [mm/300 mm] LMX1E-C ... LMC 3 50 4000 +/- 0.001* +/- 0.005* +/- 0.005 +/- 0.005 14 LMX1L-S ... LMS 3 50 4000 +/- 0.001* +/- 0.005* +/- 0.005 +/- 0.005 19 LMX1L-SC ... LMSC 2 50 4000 +/- 0.001* +/- 0.005* +/- 0.005 +/- 0.005 27 *以上數據的位置回饋系統為40µm類比式光學尺 。 位置回饋系統依客戶需求 ，可為數位式或類比式。標準件為數位式1µm光學尺 。 可允許的操作電壓依所使用的線性馬達而不同。LMS和LMT (鐵心式) 最大為480VAC 。LMC (無鐵心式) 最大為280VAC 。 M99TC04-1005 13 2.5 型號編碼說明 2.5.1 線性單軸 LMX1 L S23 -1 - 0872 - G 2 0 0 - XXXXXXXX 平台型號 馬達型號 動子數量 行程 位置回饋系統 極限開關 上蓋板 鏈條 訂製圖號 [mm] L - 鐵心式馬達 Sxx– A– 40 µm類比式1Vpp光學尺 0 - 無 0 - 無(標準) 0 - 無(標準) 複數動子 ， E - 無鐵心式馬達 鐵心式線性馬達 B– 20 µm類比式1Vpp光學尺 1 - 感應式 ，PNP A - 金屬蓋板 1 - 水平方向 ， 霍爾元件 ， C - 客製品 Cxx– D-1mm類比式1Vpp磁性尺 2 - 光電開關 ，NPN B - 蛇腹 大小15x30 配重系統 ， 無鐵心式線性馬達 E-TTL數位式1µm解析度磁性尺 (標準) 2 - 垂直方向 ， 特殊煞車 ， SCx- G– TTL數位式1µm解析度光 大小15x30 特殊安裝孔 。 夾心式線性馬達 學尺(標準) C - 客製品 2.5.2 X-Y平台 LMX2 L S23 S27 - 232 - 280 G 2 0 0 - XXXXXXXX 平台型號 上軸馬達型號 下軸馬達型號 上軸行程 下軸行程 位置回饋系統 極限開關 上蓋板 鏈條 訂製圖號 [mm] [mm] L - 鐵心式馬達 Sxx– Sxx - A - 40 µm類比式1Vpp光學尺 0 - 無 0 - 無(標準) 0 - 無(標準) 複數動子 ， E - 無鐵心式馬達 鐵心式線性馬達 鐵心式線性馬達 B - 20 µm類比式1Vpp光學尺 1 - 感應式 ，PNP A - 金屬蓋板 1 - 水平方向 ， 霍爾元件 ， C - 客製品 Cxx– Cxx - D-1mm類比式1Vpp磁性尺 2 - 光電開關 ， B - 蛇腹 大小15x30 配重系統 ， 無鐵心式線性馬達 無鐵心式線性馬達 E-TTL數位式1µm解析度磁性尺 NPN(標準) 2 - 垂直方向 ， 特殊煞車 ， SCx- G– TTL數位式1µm解析度 大小15x30 特殊安裝孔 。 夾心式線性馬達 光學尺(標準) C - 客製品 2.5.3 龍門系統 LMG2 A S13 S27 - 300 - 400 G 2 0 0 - XXXXXXXX 下軸驅動 平台型號 上軸馬達型號 下軸馬達型號 上軸行程 下軸行程 位置回饋系統 極限開關 上蓋板 鏈條 訂製圖號 方式 [mm] [mm] 2-單邊驅動 A - 標準 Sxx - Sxx - A - 40 µm類比式1Vpp光學尺 0 - 無 0 - 無(標準) 0 - 無(標準) 複數動子 ， 3-雙邊驅動 C - 客製品 鐵心式線性馬達 鐵心式線性馬達 B - 20 µm類比式1Vpp光學尺 1 - 感應式 ，PNP A - 金屬蓋板 1 - 水平方向 ， 霍爾元件 ， Cxx - Cxx - D-1mm類比式1Vpp磁性尺 2 - 光電開關 ， B - 蛇腹 大小15x30 配重系統 ， 無鐵心式線性馬達 無鐵心式線性馬達 E-TTL數位式1µm解析度磁性尺 NPN(標準) 2 - 垂直方向 ， 特殊煞車 ， G– TTL數位式1µm解析度 大小15x30 特殊安裝孔 。 光學尺(標準) C - 客製品 14 M99TC04-1005 定位系統 線性馬達平台 2.6 LMX 1E-C線性馬達平台 LMX 1E-C線性馬達平台採用無鐵心式馬達 ，特別適用於掃描 ，  最大加速度 100m/s2 高速以及多軸同步運動的應用。也能組裝成X-Y平台 。  最大速度5m/s 體積小為主要特色 。位置回饋使用增量式類比或數位光學尺 。  總長度可達4,000 mm LMX 1E-C平台具有極佳的動態特性及長度可達4,000mm 。 * 尺寸C與D由客戶指定 LMX 1E-C 線性馬達平台規格 型號 馬達型號 F c F p 動子組合 動子長度 v max a max 尺寸 尺寸 (下單編號) 質量 A B 無負載 無負載 xxxx=行程[mm] 2 [mm] [mm] [N] [N] [kg] [mm] [m/s] [m/s ] LMX1E-CB5-1-xxxx-G200 LMC B5 91 273 2 178 3 50 178 80 LMX1E-CB6-1-xxxx-G200 LMC B6 109 327 3 208 3 50 178 80 LMX1E-CB8-1-xxxx-G200 LMC B8 145 435 4.2 272 3 50 178 80 LMX1E-CB5-1-xxxx-G2A0 LMC B5 91 273 2.3 178 3 50 178 95/105 LMX1E-CB6-1-xxxx-G2A0 LMC B6 109 327 3.3 208 3 50 178 95/105 LMX1E-CB8-1-xxxx-G2A0 LMC B8 145 435 4.5 272 3 50 178 95/105 註 ：Fc = 連續推力 ，100%負載率 Fp = 瞬間推力(1秒) 線性馬達電氣參數請參考46頁。 動子組合質量包含動子 、動子座 、滑塊 。 M99TC04-1005 15 2.6.1 LMX 1E-C(無護蓋式) LMX 1E-CB5 無護蓋式線性馬達平台之尺寸與質量 50 176 有效行程 ) 2 2 33 110 80 ( 5 . 6 3 行程 總長度L N 質量 8 5 8 0 8 7 0 + 方向 5 8 7 1 1 1 1 1 [mm] [mm] [kg] 144 450 3 19 272 578 4 22.5 4-M6x1Px10DP ) 400 706 5 26 9 8 ( 528 834 6 30 656 962 7 33 (88) 784 1090 8 36.5 912 1218 9 40.5 2x2-Ø6H7 THRU 129 28 2-M4x0.8Px8DP 1040 1346 10 44 2x(N+1)-Ø6.5 THRU, Ø11x8.5DP 1296 1602 12 51 1552 1858 14 58.5 1808 2114 16 66 82 82 128 18 Nx128 15 L-30 L LMX 1E-CB6 無護蓋式線性馬達平台之尺寸與質量 50 208 有效行程 ) 2 2 34 70 70 80 ( 5 . 6 3 1 行程 總長度L N 質量 1 8 5 8 0 8 7 0 + 方向 5 8 7 1 1 1 1 1 [mm] [mm] [kg] 112 450 3 19 240 578 4 23 368 706 5 26.5 ) 496 834 6 30 6-M6x1Px10DP 9 8 ( 624 962 7 34 752 1090 8 37.5 (88) 880 1218 9 41 1008 1346 10 45 144 28 4-Ø6H7 THRU 2-M4x0.8Px8DP 1264 1602 12 52 2x(N+1)-Ø6.5 THRU, Ø11x8.5DP 1520 1858 14 59.5 1776 2114 16 66.5 82 82 128 18 Nx128 15 L-30 L 16 M99TC04-1005 定位系統 線性馬達平台 LMX 1E-CB8 無護蓋式線性馬達平台之尺寸與質量 50 272 有效行程 ) 2

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