技术方案Hiwin最新直线电机力矩电机选型手册技术样本 线性马达系统 Linear Motor System 技术手册速化 高精度 复合化 环保 生活化2005年台湾精品金质奖 2004年台湾精品奖滚珠螺杆 Ballscrew 定位线性滑轨 重负荷滚珠螺杆- Positioning Guideway 全电式射出成型机2004年台湾精品金质奖 2002年台湾精品奖 2001年中小企业创新研究奖线性伺服马达Linear Synchronous Motor 线性致动器 无铁心式 LMC Linear Actuator 医疗/自动化/工业用2003 2010年台湾精品金质奖 2009年台湾精品银质奖工业机器人 空气轴承线性马达定位Single Axis Robot 平台 KK 半导体、电子化系列 Linear Motor KS KA 自动化系列 Air Bearing Platform2008年台湾精品金质奖2007 2002年台湾精品银质奖 位置量测系统线性滑轨 Linear Guideway PositioningHG/EG/RG/MG 系列 Measurement System精密机械/电子半导体/生技医疗 E2 环保润滑模组 Q1 静音式 A1 气净式2009 2008年台湾精品金质奖2006台湾精品银质奖 线性马达驱动的X-Y平台滚珠螺杆 Ballscrew Linear Motor X-Y Robot精密研磨/精密转造 高速化 高 Dm-N 值 /Super S 系列 重负荷 E2 环保润滑模组 R1 螺帽旋转式2006年台湾精品银质奖2007年中小企业创新研究奖 线性马达龙门系统TMS直驱式定位平台 Linear Motor GantryTMS Direct-DriverPositioning System订制定位系统1,6页线页客户的真实需求规格调查表84页 M99TC04-1005 1定位系统订制定位系统本型录中各式的标准定位平台可以符合许多客户的定位需 以下列举了许多不同的应用案例，不单是机构部分的特殊订制可求，但是当这些都无法达到客户的特殊需求时，我们拥有 以提供，在某些情形下，我们也能够给大家提供伺服控制的整体解决提完整的开发团队可以和客户共同合作完成 订制的解决 方 案以达到整体生产的全部过程的最佳化。案。本资料的最后附有表格，能够给大家提供我们的工程师，先实施初步的设计。1.1 实绩案例合理价格的取放及检测用龙门定位系统X Y龙门架构使得许多应用得以更低的成本来实现，以标准元件构筑而成的龙门定位平台。 采用LMX1L系列的定位轴 重现性?2m 可提供含底座微细加工到大工件的加工适用於以雷射或刀具实施之微细结构的加工，充分的利用了小型龙门结构的特性，同样提供了合理价格的解决方案。 采用运动特性平顺的LMC系列线m 经过大量实际应用的考验平面马达平面伺服马达提供了一个最佳的检测定位解决方案，比方说，印刷电路板PCB的检测，在马达可动部上装置CCD镜头拍摄板子上的印刷电路是否完整及SMD元件。 由於使用非接触式空气轴承，基本上没有摩耗 在整个平面上能够达到很好的平面度最大1000mm平方 重现性?3m2 M99TC04-1005 定位系统 订制定位系统 高等级的晶圆品质管制、光罩制作 晶圆表面的管制以及晶圆或玻璃面板的光罩常常要采用空 气轴承式的XY平台，以检测出极微小的缺陷或制作出高精度 的光罩。例如电子业，晶片工业和平面显示器业里面都采 用这样的形式。 平面度?2m 重现性?0.5m 精度?1.5m 微米技术及晶圆处理 在微米工程等级的应用以及晶圆设备中尤其重视绝对精度及 洁净室适用性。采用线性马达高精度XY平台为最佳选择。 行程200 mm x 200 mm， 亦可选购 300 mm x 300 mm 全行程平面度?4m 各轴重现性?1m 各轴精度?4m 洁净室等级100适用， 亦可选购等级10 雷射扫描 极平滑的运动以及较长常规使用的寿命为选用类似雷射扫描机这 样的光学检测系统的主要的因素。采用空气轴承方式的线性 马达就可以符合这种需求。 使用空气轴承因此没有摩擦 完 全没有顿力，因为采用LMC系列线mm 卧式高速合成材质热溶接机 采用LMX1L系列线性马达平台搭配绝对式位置编码光学尺。 开电时无须找寻电机角 由於高加速度，因此在分离合成材质加热板时不会有牵 丝的情形 以时间力量位置控制热溶程度 高速换料 M99TC04-1005 3水刀应用LMS双动子线m的长行程带动两组HIWIN KK模组做上下Z轴运动。下面两轴也是采用LMS高推力线性马达做同步运动。 提供整体方案，随插即用 大行程 含底座，护盖及高阶运动控制器AOI光学检测整体解决方案下轴采用LMC系列线性马达使得AOI光学检测能够达到相当高的平滑运动及优良的取像;上轴利用LMS马达带动Z轴的螺杆及CCD镜头达到高速运动。 重现性?1m 速度涟波小於1.5 提供机台底座及护盖之整体解决方案客制玻璃加工机台线性马达机台被设计用来承载工作水头在平台上方移动 客户的工作水头用来切割双层玻璃 同动架构线mm行程 平滑运动 正弦波整流 无顿力 LMC系列马达 各轴重现性?2μm 刚性机构底座提供客户运动规划服务另一AOI光学检测应用 客户的真实需求要高性能价格比 534mm × 534mm2行程 LMS27及LMS13龙门 特殊龙门同动控制 钢材框架 集成线路板输送 PLC IPC於客户端 次微米级重现性 承诺40mm移动可於200ms内收歛至?1.5μm4 M99TC04-1005 定位系统 订制定位系统 1.2 技术用语 反电动式常数 真直度或水平直线 Ku 沿著X方向前进时的水平直线运动特性，当这个规格不好的时 为反电动势电压rms对转速rpm或速度m/s的比率。反电动 候沿著X方向运动时，会产生Y方向的偏差。 势为发生於线圈在永久磁铁上移动时所产生的电压。例如伺服马 达中。 偏心 是指转矩马达在旋转时旋转中心偏移的量，主要是由组装对心 加速度 和轴承的公差所决定。 每单位时间的速度变化量，即加速度 速度 / 时间 或av/t 推力，扭矩 直线运动之推力，或旋转运动之扭矩分别以不同的环境状况而 加速时间 有不同的定义值。通常有: 为由静止加速到最大速度所需的时间。 室温20? 线? 平面度或垂直直线负载率duty cycle 沿著X方向前进时的垂直直线运动特性，当这个规格不好的时候 之连续推力，连续扭矩，或瞬间推力，瞬间扭矩等定义。 沿著X方向运动时，会产生Z方向的偏差。 推力常数Kf 扭矩 参考1.3 Kf 为使物体旋转的作用力，通常以下面这个外积的公式算出的向量 为马达线圈的特性之一，定义为单位电流的推力，把此参数乘 来表示 以电流即可得到推力: F I x Kf 其物理单位为Nm kgm2/s2 连续推力，连续扭矩 参考1.3 Fc 当对马达线负载率duty cycle之连续电流时，马达 重现性 可以产生之推力或扭矩称之。 请勿与绝对精度混淆，一个线性定位轴通常会有较差的绝对精 度，与较好的重现精度。由一定以上的距离实施多次由同一个方 向往目标位置移动所量测的结果称之为单方向的重现性，在这样 连续电流 的情形下，诸如背隙的影响并不存在;如果量测时往目标逼近的 参考1.3 Ic 方向是不同的，则所得的结果为双方向的重现性，此时会量得含 这个电流是能持续供应给马达线圈的电流。通常以这个电流 背隙的结果。 流过线圈时，温度最高不会超过80?。 马达常数Km 解析度 参考1.3 Km 为所采用的位置回馈系统本身所能量测的最小距离，请勿与运 为推力对消耗功率的比值，代表马达的效率。 动解析度混淆，通常运动解析度会粗於解析度。 刚性 偏摆 为机构含零件或组件抵抗变形的能力，通常分为静态刚性与动 为回转马达在转动的同时上平面的角度偏差。随著旋转，马达 态刚性。 静态刚性为外力已经完全静止不变动时机构的抗变形 的上平面会斜来斜去，所造成 的角度。主要的原因为轴承的公 特性; 动态刚性为机构对变动外力的抗变形弹力特性。 差所引起。 M99TC04-1005 5运动解析度为定位系统能重复运动的最小距离，影响的因素有位置回馈系统解析度，控制器驱动器的解析度加上机构背隙等等。精度定义为目标位置与实际位置之间的误差。这样子的系统化或线性的偏差可能的来源有:余弦误差，角度误差，螺杆误差，热膨胀等等因素。精度请勿与重现精度混淆。磁性吸引力Fa铁心式马达的动子与定子之间的作用力，此力形成对滑块的预压，由滑轨承受。线倍。线 T为线圈允许的最大温度，马达的实际温度依存於机构，冷却手段以及运动规划等等因素，理论计算可能会出现偏差，通常以实际测试为依据。导轨偏差为使用的滑轨的线性偏差，依存於真直度和平面度。瞬间电流Ip参考1.3 Ip主要是用来提供短时间产生大推力的电流，HIWIN马达的定义根本原则为:LMS系列之I p为连续电流的两倍;LMC系列之I p为连续电流的三倍。打瞬间电流的允许时间为一秒，然后充分散热一段时间回复到线圈正常工作时候的温度以下，才可以再打瞬间电流。瞬间扭矩，瞬间推力Fp瞬间扭矩回转运动，瞬间推力直线运动为马达在不超过一秒的时间能产生的最大推力，通常这样的推力已经接近马达饱和的非线性操作区，一般用於加速或减速的目的。6 M99TC04-1005 定位系统 订制

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